鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年9月23日-鎢電(dian)極研(yan)(yan)磨(mo)(mo)工(gong)藝機械化焊(han)接電(dian)極頭表面粗糙度焊(han)接工(gong)藝研(yan)(yan)磨(mo)(mo)機幾何形狀研(yan)(yan)磨(mo)(mo)砂輪(lun)焊(han)縫(feng)質量。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一種減少(shao)鎢化學機械研(yan)磨(mo)微刮痕(hen)的工藝(yi),提供一半導體基底,其(qi)制作鎢插塞(sai)的主要(yao)步驟有光阻涂布(bu)、微影,蝕刻。
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黝圖1-6銅化學機械(xie)拋(pao)光工藝(yi)流程圖1-7雙嵌入形成鎢插塞(sai)和(he)局部(bu)互連1.3鎢鑲嵌圖3—2拋(pao)光速(su)率,均勻(yun)性(xing)(xing)和(he)研磨臺轉速(su)的依(yi)存性(xing)(xing)(32藝(yi)條(tiao)件拋(pao)光頭壓力-250hap;。
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一種改善接(jie)觸孔(kong)之鎢化學機(ji)械(xie)研(yan)磨后平坦性的方法,包括:步驟S1:在硅(gui)基襯底上(shang)制備前(qian)道器件和絕緣介質層;步驟S2:在接(jie)觸絕緣介質層上(shang)淀積(ji)對(dui)鎢金屬(shu)具有高研(yan)磨選擇比的。
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