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硅粉加工工藝設備的發展趨勢_百度文庫
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2011年12月9日-硅(gui)(gui)粉(fen)加工工藝都(dou)需(xu)(xu)要哪(na)些磨粉(fen)設(she)備(bei),硅(gui)(gui)粉(fen)加工工藝都(dou)需(xu)(xu)要哪(na)些磨粉(fen)設(she)備(bei)信息,硅(gui)(gui)粉(fen)加工工藝都(dou)需(xu)(xu)要哪(na)些磨粉(fen)設(she)備(bei)圖片(pian)硅(gui)(gui)粉(fen)(Microsilica或SilicaFume),也叫微硅(gui)(gui)粉(fen),學(xue)名(ming)。
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論文:摘(zhai)要:微電子機械系統(MEMS)是一項21世紀可以廣泛應(ying)用的(de)(de)新興技術(shu)。硅微機械加工工藝是近(jin)年來隨(sui)著集成(cheng)電路工藝發(fa)展起(qi)來的(de)(de)MEMS主流(liu)技術(shu)。介紹了MEMS的(de)(de)特點(dian)。
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2011年10月(yue)14日-免(mian)責聲明(ming):機(ji)械(xie)專家網對刊登之所(suo)有(you)信(xin)息不聲明(ming)或(huo)保證其(qi)內容之正確性(xing)或(huo)可靠性(xing);您于(yu)此接受并承(cheng)認信(xin)賴任何信(xin)息所(suo)生之風(feng)險應自(zi)行承(cheng)擔。機(ji)械(xie)專家網有(you)權但(dan)無。
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系(xi)統加(jia)工(gong)(gong)工(gong)(gong)藝(yi)方(fang)面的(de)研(yan)究(jiu)工(gong)(gong)作,具有非常豐(feng)富的(de)研(yan)究(jiu)經驗。本書的(de)主要(yao)內容(rong)包括(kuo):(1)硅(gui)的(de)濕法腐蝕工(gong)(gong)藝(yi)及其物理機(ji)制的(de)描述;(2)硅(gui)的(de)表面微機(ji)械加(jia)工(gong)(gong)技術;(3)LIGA工(gong)(gong)藝(yi);。
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硅微機械加工技術(shu),作者(zhe):(法)M.埃爾溫斯波克(ke)//(捷)H.揚(yang)森譯者(zhe):姜巖峰,ISBN:9787502592585,化學工業,2008-05-01第1版2008-05-01第1次印刷(shua)。博庫網全場。
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