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系統加(jia)工工藝(yi)方面的研究工作(zuo),具有(you)非常豐富的研究經驗。本書(shu)的主要內容包(bao)括:(1)硅的濕法(fa)腐蝕(shi)工藝(yi)及其物理(li)機制的描述;(2)硅的表面微機械加(jia)工技術;(3)LIGA工藝(yi);。
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硅微(wei)機械加工技術,作者:(法)M.埃爾溫(wen)斯波克//(捷)H.揚(yang)森譯者:姜巖(yan)峰,ISBN:9787502592585,化學(xue)工業,2008-05-01第1版2008-05-01第1次印(yin)刷。博庫網(wang)全場。
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