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2010年(nian)6月(yue)21日-硅粉經過(guo)干燥后加人到(dao)三(san)(san)氯(lv)氫(qing)(qing)硅合成爐(lu),與氯(lv)化(hua)氫(qing)(qing)在300℃左右的高溫(wen)下反應,生成三(san)(san)氯(lv)氫(qing)(qing)硅和四氯(lv)化(hua)硅。生成的粗(cu)三(san)(san)氯(lv)氫(qing)(qing)硅氣體經過(guo)旋風分(fen)離和除塵過(guo)濾后,進人。

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