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2010年11月30日-球(qiu)(qiu)形硅微粉年產千(qian)噸(dun)的(de)(de)生(sheng)產工(gong)藝流程如圖1所示,螺(luo)旋電子(zi)秤將(jiang)料(liao)倉(cang)中(zhong)的(de)(de)粉料(liao)均(jun)勻地送往等離子(zi)球(qiu)(qiu)化(hua)爐(lu)的(de)(de)煅(duan)燒室,煅(duan)燒后的(de)(de)粉料(liao)在球(qiu)(qiu)化(hua)爐(lu)中(zhong)經(jing)壓縮空氣及(ji)循環。

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隨(sui)著微電(dian)子工業(ye)的迅(xun)速發展,作為(wei)大規模(mo)集成電(dian)路封裝(zhuang)領(ling)域的關鍵(jian)材料(liao)——高純度球形硅(gui)微粉(fen)的研(yan)究越來越受到關注。本研(yan)究分別以(yi)天然石英和稻殼為(wei)原料(liao),結合氧氣-乙炔火(huo)焰(yan)法。

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球(qiu)形(xing)硅微粉(fen)(fen)表(biao)面改(gai)性,降低比(bi)表(biao)面積(ji)作者:zuosheng0(站內聯系TA)發布:2014-04-07球(qiu)形(xing)硅粉(fen)(fen),D50為(wei)3.212um,比(bi)表(biao)面積(ji)為(wei)3.7418m2/g,國外同行球(qiu)形(xing)硅粉(fen)(fen),D50為(wei)3。

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