MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型(xing)諧振器(SMR)方(fang)面,論文采用上述模(mo)型(xing)分(fen)析了四(si)分(fen)之一波(bo)長布拉格反(fan)射柵對其諧振特性(xing)的影(ying)響(xiang),得到(dao)了SMR器件獲(huo)得理想性(xing)能所需(xu)的少反(fan)射柵對數;另外,考慮到(dao)實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的(de)典型(xing)厚(hou)度在幾(ji)個(ge)微米(mi)或壓力場(chang)看(kan)起(qi)來與(單(dan)晶(jing)的(de))石(shi)英模式的(de)石(shi)英這(zhe)種類型(xing)的(de)BAW被稱(cheng)為固態裝配諧振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)。魯棒(bang)性而(er)言(yan),,則可(ke)減少(shao)諧振(zhen)器(qi)(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝(zhuang)配型諧振器(qi)(SMR)的模擬分析湯亮郝(hao)震宏喬東海汪(wang)承灝摘要:正1引(yin)言(yan)近年來,薄膜體聲(sheng)波諧振器(qi)(FBAR)由于其較小的體積(ji)以及可與IC電路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成的諧振器是固態裝配諧振器(SMR)。在一個實施例中,襯(chen)底12由硅(gui)(Si)制(zhi)(zhi)成,PZ層18由氮化鋁(AlN)制(zhi)(zhi)成。或者,也(ye)可以使用其(qi)他的壓(ya)電材料(liao)來制(zhi)(zhi)作PZ層18。在一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工(gong)藝(yi)的(de)高(gao)性能射頻濾(lv)波器:體聲波濾(lv)波器BAW第2頁/共6頁<上一(yi)頁下這種類型(xing)的(de)BAW被稱為固態裝配諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的(de)BAW要好(hao)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這(zhe)種類型的(de)(de)BAW被稱為固態裝配諧振器(qi)(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的(de)(de)BAW要好(hao)很多。在劃片和(he)裝配所需的(de)(de)各種標準(zhun)工序中,沒有機械損壞的(de)(de)風險。壓(ya)電層(ceng)和(he)電極層(ceng)上(shang)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成(cheng)膜結(jie)構(gou)或(huo)一(yi)(yi)并沉積到一(yi)(yi)個薄的(de)支撐膜上,形(xing)成(cheng)空氣一(yi)(yi)固體交(jiao)界面(mian);還(huan)有一(yi)(yi)種方式(shi)是采用“聲波鏡”形(xing)成(cheng)反射面(mian)來實現,這(zhe)種結(jie)構(gou)被(bei)稱(cheng)為“固態(tai)裝配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸(suan)鉛溶膠(jiao)凝膠(jiao)諧振(zhen)(zhen)器(qi)建立微型體聲波(bo)諧振(zhen)(zhen)器(qi)機械結構的等效(xiao)電路(lu)模型,運用PSPICE軟件研究4湯亮(liang);郝震(zhen)宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固(gu)態裝配(pei)型諧振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜諧振器可以分類為FBAR(膜體聲諧振器)型(xing)和SMR(固(gu)態裝配諧振器)型(xing)。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述(shu)聲(sheng)波(bo)器件的(de)示例(li)為諸(zhu)如FBAR(膜(mo)體聲(sheng)波(bo)諧振(zhen)器)和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧振(zhen)器)的(de)薄膜(mo)諧振(zhen)器。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲(sheng)諧振器(qi)(10;110;和210)包括少部分(fen)地補償(chang)通過電極壓電疊層(ceng)(ceng)(18)引入的溫度感應效應的鐵磁補償(chang)器(qi)(20;120;和220)。該補償(chang)器(qi)具有(you)正(zheng)頻率溫度系數,而(er)疊層(ceng)(ceng)具有(you)負。
BAW_百度文庫
包(bao)含這些(xie)壓電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器的濾波(bo)器也受(shou)到關注(zhu)。[0003]壓電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器的例子包(bao)括FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)振(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型和(he)SMR(固態(tai)裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器,Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓(ya)電(dian)薄膜(mo)(mo)諧振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)分(fen)為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔(qiang)聲諧振(zhen)(zhen)器(qi)(qi))和(he)SMR(固態(tai)裝配諧振(zhen)(zhen)器(qi)(qi))。FBAR包(bao)括層疊(die)(die)在(zai)諸如硅(gui)或玻璃(li)的(de)(de)基(ji)板上的(de)(de)上電(dian)極膜(mo)(mo)、壓(ya)電(dian)膜(mo)(mo)和(he)下電(dian)極膜(mo)(mo)的(de)(de)層疊(die)(die)結構(gou)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含(han)這些壓(ya)電(dian)薄(bo)膜(mo)(mo)諧振器(qi)的濾(lv)波器(qi)也受到關注。壓(ya)電(dian)薄(bo)膜(mo)(mo)諧振器(qi)的例子包(bao)括FBAR(薄(bo)膜(mo)(mo)腔(qiang)聲諧振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和(he)SMR(固態(tai)裝(zhuang)配諧振器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提的(de)是,德國(guo)的(de)Infneon公(gong)司在2003年推(tui)出了(le)具有布拉格反(fan)射(she)層結構的(de)固(gu)貼式(又稱(cheng)固(gu)態裝配型(xing))薄膜(mo)體(ti)聲波諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而(er)我國(guo)關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言固(gu)態(tai)引(yin)信諧振(zhen)器是電(dian)子安全系統的(de)重(zhong)要組成(cheng)部分之(zhi)一,它能在后坐加速度和旋轉離(li)心(xin)力的(de)作用下向前(qian)運動,使限(xian)位保險處于鎖定(ding)狀態(tai),從而使引(yin)信處于待(dai)發(fa)狀態(tai)。但是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫(hao)米波(bo)平(ping)面(mian)振(zhen)(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器基片集(ji)成波(bo)導相(xiang)位噪(zao)聲雙端口(kou)壓(ya)控振(zhen)(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器注入鎖(suo)定諧波(bo)振(zhen)(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器毫(hao)米波(bo)平(ping)面(mian)振(zhen)(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器是毫(hao)米波(bo)平(ping)面(mian)集(ji)成系(xi)統ZnO固態裝配型諧振(zhen)(zhen)(zhen)器(SMR)的模擬(ni)分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧(xie)振器(10;110;和(he)(he)210)包括(kuo)少部分(fen)地補償通過電極(ji)壓電疊層(ceng)(18)引入的(de)溫度感應(ying)效應(ying)的(de)鐵磁補償器(20;120;和(he)(he)220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波(bo)(bo)濾波(bo)(bo)器(qi)時域(yu)有(you)限差(cha)分法階梯阻(zu)抗諧振器(qi)橢(tuo)圓函數(shu)濾波(bo)(bo)器(qi)多層(ceng)6湯亮(liang);郝震宏;喬(qiao)東海;汪承灝;;ZnO固態裝(zhuang)配型(xing)諧振器(qi)(SMR)的模擬分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態微(wei)型諧(xie)振器的(de)工作頻率(lv)高、功率(lv)容量大、損(sun)耗(hao)低、體積小,是(shi)目前有望第(di)三(san)種(zhong)為本研(yan)究(jiu)采用反射層聲學隔(ge)離固定結構(gou)(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態(tai)裝配型(xing)諧(xie)振器(SMR)方面(mian),論文采用(yong)上述模型(xing)分(fen)析了四分(fen)之(zhi)一波長布拉(la)格反(fan)射柵對其諧(xie)振特性(xing)的影(ying)響,得到了SMR器件獲得理想性(xing)能所需的少反(fan)射柵對數;另外,考(kao)慮(lv)到實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形(xing)成(cheng)的諧振(zhen)器是固態裝配諧振(zhen)器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個(ge)實施例(li)中,襯底12由(you)硅(Si)制成(cheng),。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利(li)用無線(xian)傳感器網絡實(shi)現運(yun)動(dong)聲源(yuan)的定位與跟蹤錄取(qu),報告(gao)用相對運(yun)動(dong)幾(ji)何求(qiu)解BOT問題ZnO固態(tai)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析PGC解調光(guang)纖(xian)傳聲器技術的討論一(yi)種(zhong)單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上(shang)述壓電薄(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)器分為(wei)兩種類型,FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)器)和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)器)。FBAR包括層疊在(zai)諸如硅或玻(bo)璃(li)的(de)(de)基板上(shang)的(de)(de)上(shang)電極膜(mo)、壓電膜(mo)和下電極膜(mo)的(de)(de)層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月(yue)31日-壓(ya)電薄膜(mo)諧振(zhen)器(qi)可分成FBAR(薄膜(mo)塊體聲波諧振(zhen)器(qi))型和SMR(固(gu)態(tai)裝配諧振(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該(gai)傳感器(qi)是混合型(xing)諧振(zhen)無(wu)源諧振(zhen)結構(gou),其可以在制造(zao)過程中被集(ji)成于車輛地面連接裝(zhuang)置HBAR“高(gao)模(mo)薄膜體聲波諧振(zhen)器(qi)”),或者帶有(you)布拉格反(fan)射(she)鏡(SMR“固態(tai)裝(zhuang)配型(xing)諧振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該(gai)傳感器是混合(he)型諧(xie)振(zhen)無源(yuan)諧(xie)振(zhen)結構,其可(ke)以(yi)在(zai)制造過程中被(bei)集成于車(che)輛地面(mian)連接裝置HBAR"高(gao)模薄膜體聲波諧(xie)振(zhen)器"),或者(zhe)帶(dai)有布拉格(ge)反射鏡(SMR"固態(tai)裝配型諧(xie)振(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年(nian)6月(yue)16日-[0020]壓電薄膜(mo)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器包括FBAR型和SMR型,其中(zhong)FBAR是(shi)薄膜(mo)體(ti)聲波諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器(Film-BulkAcousticResonator)的(de)縮(suo)寫(xie),以(yi)及SMR是(shi)固態安裝諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月(yue)5日-將上述壓電薄膜(mo)諧振(zhen)器分為(wei)兩種類(lei)型,FBAR(薄膜(mo)腔聲諧振(zhen)器)和SMR(固態裝配(pei)諧振(zhen)器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓(ya)電(dian)(dian)薄膜諧振器可分成FBAR(薄膜塊(kuai)體聲波諧振器)型和SMR(固態裝配諧振器,solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上部(bu)電(dian)(dian)極(ji)、壓(ya)電(dian)(dian)膜和下部(bu)電(dian)(dian)極(ji)構(gou)成的。