MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在(zai)固(gu)態裝(zhuang)配型諧振器(SMR)方面,論文采用(yong)上述模型分析了(le)四分之一波(bo)長(chang)布拉格反射柵(zha)對其諧振特性的影響,得(de)到了(le)SMR器件獲得(de)理(li)想性能所需的少反射柵(zha)對數;另外,考(kao)慮到實(shi)際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的典型(xing)(xing)厚度(du)在(zai)幾個(ge)微米或壓力場看起來(lai)與(單(dan)晶的)石英模(mo)式的石英這種類(lei)型(xing)(xing)的BAW被稱為固態裝配諧振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)。魯棒性而(er)言,,則可減少諧振(zhen)器(qi)(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝配型(xing)諧振器(SMR)的模擬分(fen)析湯(tang)亮郝(hao)震宏喬東海(hai)汪(wang)承灝摘(zhai)要:正1引言近年來,薄膜體聲波諧振器(FBAR)由于其較小的體積以及可與IC電路進行單(dan)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這(zhe)樣形成(cheng)的諧振(zhen)(zhen)器(qi)是(shi)固態裝配諧振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)。在一(yi)個實施例(li)中,襯底12由(you)硅(gui)(Si)制(zhi)成(cheng),PZ層18由(you)氮化鋁(AlN)制(zhi)成(cheng)。或者(zhe),也(ye)可以使用其他的壓電材料(liao)來制(zhi)作PZ層18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝(yi)的高(gao)性能射(she)頻濾波(bo)(bo)器(qi)(qi):體聲波(bo)(bo)濾波(bo)(bo)器(qi)(qi)BAW第2頁/共6頁<上一頁下這種類型的BAW被(bei)稱為固態裝(zhuang)配諧振器(qi)(qi)(SMR)。魯棒(bang)性而言,SMR比膜結構的BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型的BAW被稱為固態裝配(pei)諧(xie)振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的BAW要好很(hen)多。在劃片和裝配(pei)所需(xu)的各種(zhong)標準(zhun)工序中,沒(mei)有機械(xie)損壞的風險(xian)。壓電(dian)層和電(dian)極層上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電(dian)極(ji)做成(cheng)膜結構(gou)或一并(bing)沉(chen)積到一個薄的(de)支撐膜上,形(xing)成(cheng)空氣一固(gu)體交(jiao)界(jie)面(mian);還有一種方式(shi)是采用“聲波鏡”形(xing)成(cheng)反(fan)射(she)面(mian)來實現(xian),這種結構(gou)被稱為“固(gu)態裝配諧(xie)振器(qi)(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛溶膠凝膠諧振(zhen)器(qi)建立微型體(ti)聲波諧振(zhen)器(qi)機械結(jie)構的等效(xiao)電路(lu)模(mo)型,運用PSPICE軟件研究4湯亮;郝震宏(hong);喬東(dong)海;汪(wang)承(cheng)灝;;ZnO固態裝配型諧振(zhen)器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電(dian)薄膜(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器可(ke)以分類為FBAR(膜(mo)體聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器)型和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)器)型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲波器(qi)件的(de)示例為諸如FBAR(膜體(ti)聲波諧(xie)(xie)振器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧(xie)(xie)振器(qi))的(de)薄膜諧(xie)(xie)振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(10;110;和(he)210)包括少部(bu)分地(di)補(bu)償通(tong)過電極壓電疊(die)層(18)引(yin)入的溫度感應效應的鐵磁補(bu)償器(20;120;和(he)220)。該補(bu)償器具有正(zheng)頻率(lv)溫度系數,而(er)疊(die)層具有負。
BAW_百度文庫
包(bao)含(han)這些壓電薄膜諧(xie)振器的濾波器也受到關注。[0003]壓電薄膜諧(xie)振器的例子包(bao)括FBAR(薄膜腔(qiang)聲諧(xie)振器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振器,Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將(jiang)上(shang)述壓電薄(bo)(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)器分為兩(liang)種類型,FBAR(薄(bo)(bo)膜(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)器)和(he)(he)SMR(固(gu)態裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器)。FBAR包括層疊在(zai)諸如硅或玻璃(li)的基板上(shang)的上(shang)電極膜(mo)、壓電膜(mo)和(he)(he)下(xia)電極膜(mo)的層疊結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含這些壓(ya)電薄膜(mo)諧振(zhen)器的濾(lv)波器也受到關(guan)注。壓(ya)電薄膜(mo)諧振(zhen)器的例子包(bao)括FBAR(薄膜(mo)腔聲(sheng)諧振(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固(gu)態裝(zhuang)配(pei)諧振(zhen)器,SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得(de)一提的(de)是,德國的(de)Infneon公司(si)在(zai)2003年(nian)推出了具(ju)有布(bu)拉格反(fan)射層結構的(de)固(gu)貼(tie)式(shi)(又稱固(gu)態裝配型(xing))薄膜體聲波諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而我(wo)國關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態(tai)引信(xin)諧振器是電子安全系(xi)統的(de)重要(yao)組成部分之一,它能在后坐加(jia)速度(du)和旋轉(zhuan)離心力的(de)作用下向前運動(dong),使限(xian)位保險處于(yu)鎖定狀(zhuang)態(tai),從(cong)而使引信(xin)處于(yu)待發狀(zhuang)態(tai)。但(dan)是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫(hao)米(mi)波(bo)平(ping)面振(zhen)(zhen)蕩(dang)器基片集(ji)(ji)成(cheng)波(bo)導相位噪(zao)聲雙(shuang)端口壓控(kong)振(zhen)(zhen)蕩(dang)器注入鎖定諧波(bo)振(zhen)(zhen)蕩(dang)器毫(hao)米(mi)波(bo)平(ping)面振(zhen)(zhen)蕩(dang)器是(shi)毫(hao)米(mi)波(bo)平(ping)面集(ji)(ji)成(cheng)系統ZnO固(gu)態裝配型諧振(zhen)(zhen)器(SMR)的(de)模擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲(sheng)諧振器(qi)(10;110;和210)包括(kuo)少部分地補(bu)償(chang)通過電極壓電疊層(18)引入(ru)的溫度感應(ying)效應(ying)的鐵磁(ci)補(bu)償(chang)器(qi)(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波(bo)濾波(bo)器時域有限差分法(fa)階梯(ti)阻抗(kang)諧振(zhen)器橢圓(yuan)函數濾波(bo)器多層6湯亮;郝(hao)震宏;喬東(dong)海;汪承灝;;ZnO固態裝(zhuang)配型諧振(zhen)器(SMR)的模擬(ni)分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態微型諧(xie)振器的工作頻率(lv)高、功率(lv)容量大、損(sun)耗(hao)低、體積小,是目前有(you)望第三種為本(ben)研究采用反射層聲學隔(ge)離固定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配(pei)型諧(xie)振器(SMR)方面,論文采用上述模型分析了(le)四分之一波長布拉格(ge)反(fan)射柵對(dui)其諧(xie)振特性(xing)的影響,得到了(le)SMR器件獲得理(li)想性(xing)能所(suo)需的少反(fan)射柵對(dui)數;另外,考慮(lv)到實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這(zhe)樣形(xing)成的諧振器是(shi)固態裝配(pei)諧振器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例中(zhong),襯底(di)12由(you)硅(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用無線傳感(gan)器(qi)(qi)網絡(luo)實現運(yun)(yun)動(dong)聲(sheng)源的(de)(de)定位與跟蹤(zong)錄取,報告用相對運(yun)(yun)動(dong)幾何求解BOT問題(ti)ZnO固態裝配型諧振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)的(de)(de)模(mo)擬分(fen)析PGC解調(diao)光(guang)纖傳聲(sheng)器(qi)(qi)技術的(de)(de)討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓電(dian)薄(bo)膜(mo)(mo)諧振器分為兩種類(lei)型,FBAR(薄(bo)膜(mo)(mo)腔聲諧振器)和SMR(固態裝配諧振器)。FBAR包括層疊在諸如(ru)硅或玻璃的基板(ban)上的上電(dian)極膜(mo)(mo)、壓電(dian)膜(mo)(mo)和下電(dian)極膜(mo)(mo)的層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄膜(mo)諧(xie)(xie)振器(qi)可分(fen)成(cheng)FBAR(薄膜(mo)塊體聲波(bo)諧(xie)(xie)振器(qi))型和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)(xie)振器(qi),solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器(qi)是混合型諧振(zhen)(zhen)無(wu)源諧振(zhen)(zhen)結(jie)構,其可以在制造過程中被集(ji)成于車輛地面(mian)連(lian)接裝置HBAR“高模薄膜體聲波諧振(zhen)(zhen)器(qi)”),或者帶有布拉格反射(she)鏡(jing)(SMR“固態裝配型諧振(zhen)(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器是混合型諧振(zhen)無源諧振(zhen)結構(gou),其(qi)可以在(zai)制(zhi)造過程中被集(ji)成于(yu)車輛地面連接裝置HBAR"高模(mo)薄膜體聲(sheng)波諧振(zhen)器"),或者帶有(you)布(bu)拉格反(fan)射鏡(SMR"固態裝配型諧振(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電薄膜諧振(zhen)器包括FBAR型(xing)和SMR型(xing),其中FBAR是(shi)薄膜體聲波(bo)諧振(zhen)器(Film-BulkAcousticResonator)的縮(suo)寫,以及SMR是(shi)固(gu)態(tai)安裝諧振(zhen)器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年(nian)10月5日-將上述壓電薄膜諧振器(qi)分(fen)為兩種類型,FBAR(薄膜腔聲諧振器(qi))和SMR(固態裝(zhuang)配諧振器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓(ya)電薄(bo)膜(mo)諧(xie)振器可分成FBAR(薄(bo)膜(mo)塊體聲波諧(xie)振器)型(xing)和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振器,solidlymountedresonator)型(xing)。FBAR具有由上部電極、壓(ya)電膜(mo)和下部電極構成的。